毒性气体/氢化物气体检测/分析仪 适用于半导体工业 【SC-90型】 特点： ●内装微机能进行自动调整和自我诊断 ●LCD液晶显示 ●小型，轻量设计 ●带峰值保持和测平均值功能 ●声/光双重报警功能 ●记录输出（1-5VDC） 规格： 检测原理 定电位电解方式 检测气体和范围 见下表 检测方式 连续检测/平均值检测/峰值检测 控制功能 微机控制 显 示 LCD自照明 指示精度 ±10%FS以内 反应时间 30秒内（气体浓度超3倍报警设定值时） 采样系统 隔膜内置泵 使用温/湿度 -10℃~~+40℃，低于90%RH 连续使用时间 碱性干电池20小时，Ni-Cd电池10小时(无报警照明时)可连接AC外接电源 尺寸.重量 200(W)×80(H)×142(D)mm 约1.9Kg 检测气体名称 检测气体 检测范围 报警设定值 磷PH3 0--1.00ppm(1刻度0.05ppm) 0.3ppm 四氢化硅 SiH4 0--15.0ppm(1刻度0.5ppm) 5ppm 乙硼烷B2H6 0--30.0ppm(1刻度0.5ppm) 10ppm 胂AsH3 0--1.00ppm(1刻度0.05ppm) 0.3ppm 氯化氢HCl 0--5.00ppm(1刻度0.05ppm) 2ppm 氟化氢HF 0--9.0ppm(1刻度0.5ppm) 3ppm 硫化氢(H2S) 0~~30.0ppm(一刻度0.5ppm) 10ppm 一氧化碳(CO) 0~~300ppm(一刻度1ppm) 50ppm 二氧化硫(SO2) 0~~15.0ppm(一刻度0.5ppm) 2ppm 氯气(Cl2) 0~~3.0ppm(一刻度0.05ppm) 1ppm 一氧化氮(NO) 0~~100ppm(一刻度1ppm) 25ppm 二氧化氮(NO2) 0~~15.0ppm(一刻度0.5ppm) 3ppm